第277章 Arf光刻

p;听完何融明的介绍，常乐不明觉厉，高兴地说：

    “老何，辛苦了。”

    “阶段性目标的实现，比我想象中要来得早一些……”

    “我原来计划可能要10年左右才能突破。”

    “正常情况下，是这样。”何融明说：

    “老板，不瞒您说，我们原本也认为要花费较长一段时间。”

    “只是，一年多以前成功研发krf准分子光刻机后，我们发现研发进度、研发效率在不断提升，试错成本一降再降。”

    “尤其是，华卓精科的双工件台，据他们说，几乎每一步都踏在正确的轨道上。”

    梁青松接着这个话题继续说：

    “老板，华红的研发也很顺利。”

    “接手沪微电子的光刻机后，在验证过程中，65纳米Soc芯片一次流片成功率高达90%……”

    “节省了大量的研发时间和成本，让研发人员积极性大为提高。”

    听完介绍，常乐笑道：

    “看来，老天爷都看不下去了，开始垂怜我们了，让我们尽量少走一些弯路。”

    曾熙说：“这就是天道酬勤。”

    在场的人都笑了起来。

    何融明说：“是啊，天道酬勤。dUV光刻机研发成功，给足了我们信心。只要坚持不懈，就一定可以抹平代差。”

    “我们与ASmL光刻机的差距客观存在，但至少不是30年、40年这种令人绝望的差距。”

    “我们希望能在10年内，基本抹平代差，平起平坐。”

    梁青松说：“其实，我们也有优势，那就是沿着ASmL的轨迹走。不用摸着石头过河，试错成本最大限度降到最低。”

    常乐点头：“都说的很好。大家有这样的共识，就说明我们的认识一致、行动一致，我们走在一条正确的道路上。”

    “伟人曾经说过，雄关漫道真如铁、而今迈步从头越。只要我们心往一处想，力往一处使，就一定能够取得成功。”

    沪微电子食堂。

    众人聚在一起吃便饭——自助餐。

    长条桌上，常乐看到零零散散上百道菜依次排开，囊括东南西北各种口味。

    常乐说：“老何，没有搞突击吧。”

    何融明摇头：“老板，放心，绝对没有搞突击。”

    “食堂我亲自抓，也曾带队去过母公司，还有乐达汽车的食堂，考察过。”

    “这么说吧，沪微电子的食堂，应该比母公司只好不差。”

    “因为我们高薪组建了厨师班，他们每天换着花样做。”

    “您现在看到的，都是平常工程师们的日常水准，逢年过节，厨师班还会超水平发挥一下。”

    常乐说：“这就好，研发工作非常耗费脑力和精力，在营养方面必须保障，经费绝对不能省。”

    接着，何融明谈到下一步研发重点。

    “下一步我们将着重攻坚浸入式步进式投影式光刻机，也就是arfi光刻。”

    “目前，我们的供应商启尔电机传来了好消息……”

    “他们的浸液系统，已经可以将高精度液体温差控制在0.001度，组件试验进展非常顺利，不久就将向我们供货。”

    “一旦自主Arfi光刻机研发成功，那么我们与欧美光刻巨头的代差，将缩小到10年以内，仅一代差距。”

    “这不是一个令人绝望的鸿沟。”

    arfi光刻与arf光刻系出同源，都是深紫外线dUV光刻机。

    区别就在于，前者多了一个浸液系统。

    通过该系统，将镜头与硅片之间的空间浸入液体中，在液体光折射作用下，能够使激光的实际波长大幅度缩短。

    即193纳米等效缩短到134纳米。

    从而，实现7-45纳米工艺制程。

    到了这个节点，至少10年内，是绝大多数半导体产品的主流。

    听完介绍，常乐问：“大概多久能够研发成功……”

    何融明说：“顺利的话，应该会在三年内投向市场，不顺利的话，时间很难估计。”

    常乐当即举起酒杯：“好，让我们共同预祝研发顺利！”

    “干杯！”

    “干杯！”